阿斯麦：英特尔实现High NA EUV高数值孔径光刻量产应用-广知资讯网

当前位置：当前位置：首页 > 知识 > 阿斯麦：英特尔实现High NA EUV高数值孔径光刻量产应用正文

阿斯麦：英特尔实现High NA EUV高数值孔径光刻量产应用

[知识] 时间：2026-07-18 01:12:20 来源：广知资讯网作者：时尚点击：106次

7月15日，麦英阿斯麦（ASML）正式宣布，实现数值英特尔代工（Intel Foundry）已在Intel 18A工艺节点上，高光刻成功利用阿斯麦高数值孔径极紫外（High NA EUV）光刻技术，孔径实现了部分Intel Core Ultra Series 3（代号Panther Lake）处理器的量产量产。这一里程碑事件标志着英特尔成为全球首家实现High NA EUV逻辑芯片高产量出货的应用企业。

双方联合声明指出，麦英Intel 18A的实现数值部分工艺层已完成High NA EUV的双重认证，且产品良率已稳定达到现有NXE EUV平台水平。高光刻未来，孔径英特尔与阿斯麦将继续深化合作，量产推动该尖端技术在后续制程节点中的应用广泛应用。

麦英

(责任编辑：探索)

林子聪真的太会保养了，25年时间样貌都没有变过“猴茅”，涨停又炸板